SMIC, ΠΊΡΡΠΏΠ½Π΅ΠΉΡΠΈΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΠΉ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² Π² ΠΠΈΡΠ°Π΅, ΠΎΠ±ΡΡΠ²ΠΈΠ» Π² ΡΡΠΎΠΌ ΠΌΠ΅ΡΡΡΠ΅, ΡΡΠΎ ΠΊ ΠΊΠΎΠ½ΡΡ Π³ΠΎΠ΄Π° Π½Π°ΡΠ½Π΅Ρ ΠΊΠΎΠΌΠΌΠ΅ΡΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²ΠΎ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡ ΡΠ²ΠΎΡ 14 Π½ΠΌ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° FinFET. ΠΡΠΎ ΠΏΠ΅ΡΠ²Π°Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅Π½Π½Π°Ρ Π»ΠΈΠ½ΠΈΡ FinFET Π² ΠΠΈΡΠ°Π΅, ΡΡΠΎ Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ Π΅Π΅ Π·Π°ΠΌΠ΅ΡΠ½ΡΠΌ ΡΠΎΠ±ΡΡΠΈΠ΅ΠΌ Π΄Π»Ρ ΡΡΡΠ°Π½Ρ, Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΉ ΡΠΆΠ΅ Π½Π°Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ Π·Π°Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ², ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΡ Π²Π΅Π΄ΡΡΠΈΠ΅ ΠΌΠΈΡΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ Π½ΠΈΠΊΠΎΠ³Π΄Π° Π½Π΅ ΡΡΡΠ°Π½Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π»ΠΈ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ FinFET Π² ΠΠΈΡΠ°Π΅ ΠΏΠΎ Π³Π΅ΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΠΈ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π»Π»Π΅ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΠΏΡΠΈΡΠΈΠ½Π°ΠΌ. SMIC, Π² ΡΠ²ΠΎΡ ΠΎΡΠ΅ΡΠ΅Π΄Ρ, ΠΏΠΎΡ ΠΎΠΆΠ΅, ΠΎΠΆΠΈΠ΄Π°Π΅Ρ Π΄ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎ Π±ΡΡΡΡΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°ΡΠ°ΡΡΠ°Π½ΠΈΡ ΡΠ²ΠΎΠ΅Π³ΠΎ 14 Π½ΠΌ ΡΠ·Π»Π°, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠΆΠΈΠ΄Π°Π΅Ρ, ΡΡΠΎ Π½ΠΎΠ²Π°Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅Π½Π½Π°Ρ Π»ΠΈΠ½ΠΈΡ Π²Π½Π΅ΡΠ΅Ρ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΉ Π²ΠΊΠ»Π°Π΄ Π² Π΅Π΅ Π΄ΠΎΡ ΠΎΠ΄ Π΄ΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ° Π³ΠΎΠ΄Π°.
Π‘ΠΎΠ³Π»Π°ΡΠ½ΠΎ SMIC, ΠΈΡ 14 Π½ΠΌ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° FinFET Π±ΡΠ»Π° ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π½Π° ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡΡΡ ΡΠΎΠ±ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠΌΠΈ ΡΠΈΠ»Π°ΠΌΠΈ ΠΈ, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠΆΠΈΠ΄Π°Π΅ΡΡΡ, Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠΎΠ², ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈ ΡΠ½ΠΈΠ·ΠΈΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΎΠΏΠΎΡΡΠ΅Π±Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌ ΠΏΠΎ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ Ρ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ, ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½ΡΠΌΠΈ Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ 28 Π½ΠΌ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠΈ, ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π½Π° ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΈΡ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠ°Ρ . , Π Π°Π½Π΅Π΅ Π² ΡΡΠΎΠΌ Π³ΠΎΠ΄Ρ ΠΎΠΆΠΈΠ΄Π°Π»ΠΎΡΡ, ΡΡΠΎ SMIC Π½Π°ΡΠ½Π΅Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²ΠΎ 14 Π½ΠΌ ΡΠΈΠΏΠΎΠ² ΡΠΆΠ΅ Π² ΠΏΠ΅ΡΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΈΠ½Π΅ 2019 Π³ΠΎΠ΄Π°, ΠΏΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΡΠΈΡΠΌΠ°, ΠΏΠΎΡ ΠΎΠΆΠ΅, Π½Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΡΡΡΠ°Π΅Ρ ΠΎΡ Π³ΡΠ°ΡΠΈΠΊΠ°. Π’Π΅ΠΌ Π½Π΅ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅, ΡΠΎΠ±ΡΡΠ²Π΅Π½Π½Π°Ρ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° FinFET ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π°ΡΡΠΎΡΡΠΈΠΌ ΠΏΡΠΎΡΡΠ²ΠΎΠΌ Π΄Π»Ρ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π½Π΅Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠΈ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ ΠΏΡΠ΅Π²ΡΠ°ΡΠ°Π΅Ρ Π΅Π΅ Π² ΠΊΠ»ΡΠ± Ρ ΠΏΡΡΡΡ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠΌΠΈ Π»ΠΈΡΠ΅ΠΉΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΠ΅Ρ Π°ΠΌΠΈ Ρ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠΌΠΈ FinFET.
ΠΠ΄Π½Π° ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠ½Π°Ρ Π²Π΅ΡΡ, ΠΎ ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΉ SMIC Π·Π°ΡΠ²ΠΈΠ»Π° ΠΎ ΡΠ²ΠΎΠ΅ΠΌ 14 Π½ΠΌ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ΅ FinFET, Π·Π°ΠΊΠ»ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π² ΡΠΎΠΌ, ΡΡΠΎ ΠΎΠ½ ΠΎΠΆΠΈΠ΄Π°Π΅Ρ, ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ½Π΅ΡΠ΅Ρ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΉ Π΄ΠΎΡ ΠΎΠ΄ ΡΠΆΠ΅ ΠΊ ΠΊΠΎΠ½ΡΡ Π³ΠΎΠ΄Π°. ΠΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΡΠ΅ΠΌ, ΠΏΠΎΠΌΠ½Ρ ΠΎ ΡΠΎΠΌ, ΡΡΠΎ Π² Π½Π°ΡΡΠΎΡΡΠ΅Π΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ SMIC ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π΄Π²Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π½Π΅Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΡ 300-ΠΌΠΌ HVM-ΡΠ°Π±ΡΠΈΠΊΠΈ (ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ Π² Π½Π°ΡΡΠΎΡΡΠ΅Π΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠ·Π»ΠΎΠ² Ρ ΡΠΈΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΡ 28 Π΄ΠΎ 65 Π½ΠΌ), ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ²Π½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ ΠΈ ΠΏΡΠΈΠ½ΠΎΡΡΡ 40 ~ 49% Π²ΡΡΡΡΠΊΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΠΈ (Π² ΠΏΠ΅ΡΠ²ΠΎΠΌ / Π²ΡΠΎΡΠΎΠΌ ΠΊΠ²Π°ΡΡΠ°Π»Π΅). 2019), ΡΡΡΠ΄Π½ΠΎ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²ΠΈΡΡ, ΡΡΠΎ SMIC Π±ΡΠ΄Π΅Ρ Π·Π°Π³ΡΡΠΆΠ°ΡΡ 14 Π½ΠΌ ΡΠΈΠΏΡ Π² 2019 Π³ΠΎΠ΄Ρ.
ΠΠ±Π·ΠΎΡ Π€Π°Π±ΡΠΈΠΊΠΈ Π‘ΠΠΠ | ||||
Π’Π΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΡ | ΠΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΠΠ°ΡΠ»Ρ Π½Π°ΡΠΈΠ½Π°Π΅ΡΡΡ Π² ΠΌΠ΅ΡΡΡ |
ΠΠ΅ΡΡΠΎ Π½Π°Ρ ΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ | ||
BJ | 200ΠΌΠΌ | 90 Π½ΠΌ – 150 Π½ΠΌ | 50000 | ΠΠ΅ΠΊΠΈΠ½, ΠΠΈΡΠ°ΠΉ |
300ΠΌΠΌ | 28 Π½ΠΌ – 65 Π½ΠΌ | 35000 | ||
SH | 200 ΠΌΠΌ | 90 Π½ΠΌ – 350 Π½ΠΌ | 120000 | Π¨Π°Π½Ρ Π°ΠΉ, ΠΠΈΡΠ°ΠΉ |
300 ΠΌΠΌ | 28 Π½ΠΌ – 65 Π½ΠΌ | 20000 | ||
SZ | 200 ΠΌΠΌ | 90 Π½ΠΌ – 350 Π½ΠΌ | 60000 | Π¨ΡΠ½ΡΡΠΆΡΠ½Ρ, ΠΠΈΡΠ°ΠΉ |
300 ΠΌΠΌ | 28 Π½ΠΌ – 65 ΠΌ | 3000 | ||
TJ | 200 ΠΌΠΌ | 90 Π½ΠΌ – 350 Π½ΠΌ | 50000 | Π’ΡΠ½ΡΡΠ·ΠΈΠ½Ρ, ΠΠΈΡΠ°ΠΉ |
LF | 200 ΠΌΠΌ | 90 Π½ΠΌ – 180 Π½ΠΌ | 50000 | ΠΠ²Π΅ΡΡΠ°Π½ΠΎ, ΠΡΠ°Π»ΠΈΡ |
Π Π½Π°ΡΠ°Π»Π΅ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ Π³ΠΎΠ΄Π° ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°Π½ΠΈΡ Π·Π°Π²Π΅ΡΡΠΈΠ»Π° ΡΡΡΠΎΠΈΡΠ΅Π»ΡΡΡΠ²ΠΎ ΡΠ²ΠΎΠ΅Π³ΠΎ Π·Π°Π²ΠΎΠ΄Π° SMIC South FinFET ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΡΡ 10 ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠ°ΡΠ΄ΠΎΠ² Π΄ΠΎΠ»Π»Π°ΡΠΎΠ², ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ Π±ΡΠ΄Π΅Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡΡΡ Π² ΡΠ²ΠΎΠΈΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄ΠΎΠ²ΡΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΡ , ΠΈ Π½Π°ΡΠ°Π»Π° ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²ΠΎ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ. ΠΠ°ΠΊ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π·Π°Π²ΠΎΠ΄ Π±ΡΠ΄Π΅Ρ Π³ΠΎΡΠΎΠ² ΠΊ ΠΊΠΎΠΌΠΌΠ΅ΡΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠΈΡΠΌ, SMIC ΡΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΡΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²ΠΎ ΡΠΈΠΏΠΎΠ², ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡ ΡΠ²ΠΎΠΈ 14 Π½ΠΌ, Π° Π·Π°ΡΠ΅ΠΌ ΠΈ 12 Π½ΠΌ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ FinFET.
ΠΠΎΠ»Π³ΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠ»Π°Π½Ρ SMIC Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΡ 10 Π½ΠΌ ΠΈ 7 Π½ΠΌ. ΠΠΆΠΈΠ΄Π°Π΅ΡΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½ΠΈΠΉ ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² ΡΠΊΡΡΡΠ΅ΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ»ΡΡΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ»Π΅ΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΠΈ, ΠΏΠΎΡΡΠΎΠΌΡ Π² ΠΏΡΠΎΡΠ»ΠΎΠΌ Π³ΠΎΠ΄Ρ SMIC ΠΏΡΠΈΠΎΠ±ΡΠ΅Π»Π° ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ ΠΏΠΎΡΠ°Π³ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ EUV Ρ ASML Π·Π° 120 ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² Π΄ΠΎΠ»Π»Π°ΡΠΎΠ², ΠΊΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° Π±ΡΠ»Π° Π±ΡΡΡ ΠΏΠΎΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π° ββΠ² 2019 Π³ΠΎΠ΄Ρ.
Π‘Π²ΡΠ·Π°Π½Π½ΠΎΠ΅ Π§ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅:
ΠΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠΈ: SMIC, DigiTimes